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第277章 离光刻又进了一步（第2页）

夏博士连忙带着方叶来到了显微镜前，并且调整好了倍数，方叶将相片纸放了上去，坐在显微镜面前沿着字体线条，看得十分的认真，缺点还是有的，最大的问题不是断线，而是线条毛边。

方叶抬了起头说道:“曝光很成功，线条也流畅，没有出现断线，或线条上漏点的情况，刻蚀也明显出现了层次感，说明具有一定的深度，但是你再看看，线条有毛边，而且很多。”

方叶起了身，夏培士和唐研究员两人依次看了起来，确实如方叶所说，显微镜倍数已经很低了，线条锯齿状更是清晰可见。

唐研究员有些不解的问道:“这样的锯齿状，也有问题?”方叶反问道:“不如假想一下，如果这是刻蚀在硅片上的电路，两条线路相距极近，这种程度的锯齿状，经过镀铜以后可能会出现什么问题?”唐研究员如梦初醒，他回道:“可能会造成电路接触不良，如果相距极近的话，还可能会造成电涌问题。”

“对头。”方叶说道:“现在一个汉字的尺寸差不多三四公分，仅仅二三十倍的光学检查，锯齿状就已经这么明显了，如果将其放到更小，比如整个电路只有一个汉字那么大，上面的电路线宽低于300微米，间距100至200微米，以现在的水平，电路刻蚀的成品率会有多少?”两人在交谈着，但是一旁的胡西园却是听得一脸懵，他完全不知道两人在讨论什么，一会硅片，一会电路，一会刻蚀，在他看来，紫外灯管那不是医院和洗相片的暗房才用的吗?这和电路又有什么关系呢?

唐研究员沉思了一会说道:“如果微米级刻蚀，估计连一半的成品率都没有。”

方叶为了不打击研究员的信心，便说道:“设备的研制取得了极大的成功，这是值得庆贺的。”

就见方叶继续说道:“不过还有一些问题要解决，一是刻蚀的深度不小于20微米，并且要均匀、不能有明显的波峰出现，最好能测出深度尺寸;二是锯齿的问题要极力缩到最小，最好一百倍以上显微镜下检测不能有明显的锯齿状;三是机器需要改进，将这些盖板什么的全部整合到一起，方便操作。”

唐研究员拿起记事本，将问题记了下来，方叶为了方便解释，便来到黑板前，画出了线路锯齿状和蚀刻线槽断面截图，而后解释了起来:“找出锯齿状的原因，是因为菲林片的问题，还是曝光的问题，然后加以解决。”

“至于线槽内部为什么要平坦，原因也不复杂，如果断面出现高低起伏的波峰，那么镀铜以后，线路上可能会出现点状起伏，甚至是空穴，影响电流传输。”

唐研究员思考了一会说道:“第一个问题，菲林片的影响比较大，我们现在的菲林是人工制造的。”

方叶从机器里拿出菲林片，然后又放到了显微镜下看了起来，字体的边缘坑坑洼洼，便问道:“你们怎么制作的菲林?”唐研究员说道:“先在菲林上涂上黑色遮光材料，然后由人工雕刻出所需字体。”

方叶重重的呼了一口气，思考了起来，现在这个时代，没有计算机制版，没有紫外光复印机，确实只能靠人工来雕刻菲林，想到这里，他便对二人说道:“菲林的问题成立一个专项，无论是遮光、显像、透光新材料的研究，还是雕刻人才和工具，全部进行专项研究。”

1955年，美国的贝尔实验室就已经在进行菲林集成电路刻蚀的实验了，他们采用的也是华为研究院同样的方法，而第一代精密菲林片的电路刻蚀，就是由技术工程师，在显微镜下手工完成的。

每块电路的线宽、间距、功能的实现，全部依赖人工完成，这不仅需要精通高级电路，还需要有极具天赋的雕刻技能，这样的人目前的中国可是不容易找。

方叶将自己的要求都讲了出来，而后对夏博士说道:“研究院这边，要在全国专科、本科大学去找人才，重点到机电或电子学系找那些性格沉稳，电路图又画得极好的人才，找到了就申请调到华为来，可以多招一些，到时开个班，不干别的，专门学习画微型电路图。”

“需要多少经费，到时算一算报上来，我会让集团拔款。”方叶最后说道。

夏博士想了想说道:“这些分类的研究都有基础，花不了多少钱，一年三五十万足够了。”

“行，没问题。”方叶回答得很干脆。

这时夏博士说道:“董事长，今天我将胡老先生请来，其实还有另一件事。”

方叶示意她继续，就见夏博士说道:“以现有的研究成果，我们完全可以研制出一台紫外光复印机出来，这样光刻项目的经费，也就不会一直依赖集团拔款了。”

方叶想了想说道:“紫外光复印机可不好搞，现在用的都是静电复印机，紫外光复印最大的问题是复印转移技术，它与静电复印机使用硒鼓不同，我们现在能做的也只是用到菲林胶片曝光。“夏博士点了点头，不过却是说道:“唐研究员懂机械，他有个好主意，还是请他来说说吧。”

唐研究员挪了挪步，向方叶解释道:“我拆了一台公司里使用的美国施乐静电复印机，其原理是通过静电在硒鼓上形成图像，然后用一种可熔性墨粉加热后送到纸张上。”

“那么你的设想是什么?”方叶顿时来了兴致。

唐研究员随即拖过黑板，拿起粉笔在上面画了三个圆柱，两根紧紧挨在一起，—根间隔了一点距离，他解说道:“董事长请看，静电复印机是通过静电原理，那我现在将静电装置改成紫外光不是一样吗?”他进一步解说道:“我在长春光机所工作了一年多，加上这两年的研究，对光学也有了一些了解，我的想法是，将硒鼓，改成感光鼓，然后照射紫外线，将复印件上传到感光鼓上生成图像，然后再向感光鼓上喷墨粉或者采用专用复印纸，再将图像转印到纸张上，完成复印。”

“嘶~!”方叶暗自不可闻的吸了口气，这位唐研究员果然不是一般人才啊，这份天才般的设想，他居然通过研制光刻机就想了出来，这不就是未来的光感鼓复印机的原理吗?牛啊!

方叶竖起了大拇指:“小唐同志，厉害啊，这是一个十分有前途的创意。”

唐研究员现年不过25岁，正是充满热血干劲的年纪，旦见他挠了挠头，有些不好意思的说道:“谢谢董事长夸赞，就是这个设想能不能实现还不知道。”

方叶则是问道:“成立一个这样的项目你有没有算过要多少钱?”唐研究员一听，立即认真的起来，说道:“关键是感光鼓、涂敷材料，另外对于机械传动的精度要求也很高，之前算了一下，起始研究资金每年20万足够了。”

方叶微—点头，说道:“同意成立项目，不过你不能离开光刻项目，这是华为整个研究院的核心研究项目之一，所以这个项目可能要交给别人，你能同意吗?”唐研究员一挺胸膛说道:“我没有任何问题，只要对国家有利，我的一切都是国家的。”

“好。”方叶轻轻拍了拍他的肩膀，而后说道:“项目成功了，该是你的功劳没人能抢。”

“这些不重要。”唐研究员说道:“中国还没有自己的复印机，只要能搞出来，至于功劳我不需要。”

这时一旁的胡西园，却是有些激动的问道:“那我们亚浦耳厂能做些什么?”方叶笑道:“制造出更好，功率更高的紫外光灯，同时承担复印机专用紫外灯的研制。”

胡西园高兴的回道:“这个没问题，请放心，我们一定搞出性能更好的紫外灯，以供华为研究的需要。”

方叶点了点，接着便又朝唐研究员说道:“等到光刻机改进以后，可以试着在硅片上进行光刻，华昌那边大的材料搞不出来，小材料还是有不少，需要就打电话让那边送过来。”

万事开头难，好在现在光刻机的实验机型已经取得了进步，虽然这距离真正的实用还有很多路要走，但这份成绩是实实在在的，因此方叶的心里十分的开心。

离开华为研究院时，胡西园盛情邀请方叶到亚浦耳灯泡厂做客，方叶并没有拒绝，他也想看看这年月的灯泡厂是什么样子的。

如今的亚浦耳还没有改名为亚明，也还没有进行公私合营，总经理仍旧由胡西园担任。

这座灯泡厂经过多年的发展，如今相对于国内的企业自动化生产程度很高，只见车间里机器轰鸣，灯泡源源不断的从机器上流下，经过人工检验后打包装箱，生产效率并不低。

一座车间的二层楼上，胡西园看着下方忙碌的场景，一脸荣光的对方叶说道:“当初抱着实业救国之心，成立了这家工厂，只是干了一辈子，就干了这么点东西。”

方叶笑道:“老先生干的可不是一点东西哟，这家工厂结束了中国人不能自主生产灯泡的历史，这在我国工业史上是浓墨重彩的一笔。”